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【摘要】 一種新型的掃描隧道顯微鏡體，其微調(diào)采用差動(dòng) 壓縮彈簧，多級(jí)齒輪減速和二級(jí)調(diào)速步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)電 路，提高了調(diào)節(jié)精度。隔振除采用彈簧懸掛式平臺(tái) 外，還采用了排斥性磁阻尼，增強(qiáng)了抗外界振動(dòng)干擾 的能力。試樣支承采用了移動(dòng)式結(jié)構(gòu)，增大了被測(cè)試 樣的移動(dòng)范圍。它能在空氣和液體環(huán)境中工作，因此 可在機(jī)械、電子和生物工程等領(lǐng)域中作為微位移機(jī)構(gòu) 使用。 【專(zhuān)利類(lèi)型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】重慶大學(xué) 【申請(qǐng)人類(lèi)型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】630044四川省重慶市沙坪壩 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】重慶市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】沙坪壩區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N91214028.3 【申請(qǐng)日】1990-12-29 【申請(qǐng)年份】1990 【公開(kāi)公告號(hào)】CN2089208U 【公開(kāi)公告日】1991-11-20 【公開(kāi)公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2089208U 【授權(quán)公告日】1991-11-20 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】H01J37/02 【發(fā)明人】舒啟清; 王云良; 鄭小林 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種新型的掃描隧道顯微鏡體，是由粗調(diào)裝置，微調(diào)裝置，隔振裝置，試樣支撐裝置及二級(jí)調(diào)速驅(qū)動(dòng)電路組成，其特征在于微調(diào)機(jī)構(gòu)是通過(guò)由時(shí)基電路30，環(huán)行分配器31，功率放大電路32組成二級(jí)調(diào)速電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路以控制步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)速，帶動(dòng)總減速比為1∶15-50的多級(jí)減速齒輪組25減速后使微進(jìn)傳動(dòng)螺桿5在微進(jìn)給螺母座6內(nèi)旋轉(zhuǎn)，差動(dòng)壓縮彈簧8受壓縮，微進(jìn)給滑動(dòng)支承9上升，位于微進(jìn)給滑動(dòng)支承9錐形孔上的一個(gè)鋼球10頂著壓電陶瓷固定板15上的墊塊，以試樣固定基礎(chǔ)板20的探針試樣間隙粗調(diào)旋紐上對(duì)稱(chēng)分布的兩顆鋼球10為支點(diǎn)，支點(diǎn)連線兩側(cè)的支臂比為40∶1，從而使壓電陶瓷固定板15緩慢上升或下降；在微進(jìn)給傳動(dòng)齒輪4的下面，限位器座板上面安裝了限位開(kāi)關(guān)3，限制微進(jìn)傳動(dòng)螺桿5的行程；三對(duì)互成120°園心角且每對(duì)極性相同的磁阻尼器2分別安裝在基痤1和懸吊平臺(tái)的電機(jī)固定基礎(chǔ)板28上；在壓電陶瓷固定板15上，沿兩個(gè)探針試樣間隙粗調(diào)旋紐22上的鋼球支點(diǎn)連線的垂直平分線方向，加工一以該垂直平分線為對(duì)稱(chēng)軸且過(guò)板中心的方形槽，槽內(nèi)有一孔用于安裝壓電陶瓷管；在試樣固定基礎(chǔ)板20上與上述方形槽相對(duì)應(yīng)的位置有另一方形槽，在槽內(nèi)與壓電陶瓷固定板上的壓電陶瓷管16對(duì)應(yīng)位置上加工一階梯形通孔，安裝試樣支承裝置。。 （macrodatas.cn） 【當(dāng)前權(quán)利人】重慶大學(xué) 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】四川省重慶市沙坪壩 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400002697C 【被引證次數(shù)】10.0 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】9.0 【家族被引證次數(shù)】10.0

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