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標(biāo)尺光柵精度檢測(cè)儀

時(shí)間:2026-04-03    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本實(shí)用新型是一種標(biāo)尺光柵精度檢測(cè)儀,涉及光 柵數(shù)顯技術(shù)領(lǐng)域,其特征在于采用兩根具有相同柵距 的標(biāo)尺光柵面-面對(duì)置組合成對(duì),通過光電探測(cè)器相 對(duì)于標(biāo)尺光柵對(duì)作X、Y向移動(dòng),測(cè)量其莫爾條紋圖 象的光強(qiáng)變化,經(jīng)數(shù)字顯示儀輸出數(shù)據(jù),再經(jīng)數(shù)據(jù)處 理得到每根標(biāo)尺光柵的刻線誤差。本實(shí)用新型具有 測(cè)量精度高、其測(cè)量準(zhǔn)確度不受被測(cè)標(biāo)尺光柵精度的 限制,重復(fù)性好、成本低、實(shí)用性強(qiáng)、便于操作使用等 優(yōu)點(diǎn)。 來源:百度搜索馬克數(shù)據(jù)網(wǎng) 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】610209四川省成都市雙流350信箱 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】成都市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】雙流區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N91214207.3 【申請(qǐng)日】1991-03-06 【申請(qǐng)年份】1991 【公開公告號(hào)】CN2084604U 【公開公告日】1991-09-11 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2084604U 【授權(quán)公告日】1991-09-11 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】G01B11/02 【發(fā)明人】王集交; 李永德; 郝永杰 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種包括光電探測(cè)器和數(shù)字顯示儀的標(biāo)尺光柵精度檢測(cè)儀,其特征在于兩根具有相同柵距的標(biāo)尺光柵面一面對(duì)置組合成對(duì),光電探測(cè)器中的發(fā)光和接收元件對(duì)應(yīng)分跨在標(biāo)尺光柵對(duì)的兩側(cè),通過探測(cè)器相對(duì)于標(biāo)尺光柵對(duì)作X、Y向移動(dòng)測(cè)量其莫爾條紋圖象的光強(qiáng)變化,數(shù)字顯示儀顯示輸出,經(jīng)數(shù)據(jù)處理得出每標(biāo)根尺光柵的刻線誤差。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】四川省成都市雙流350信箱 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000450811820A 【被引證次數(shù)】5.0 【被他引次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】5.0

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