【摘要】本發(fā)明涉及一種特別是針對提高萘集中度的煤 焦油加工技術(shù)。本發(fā)明在不改變原有煤焦油加工工 藝流程和設(shè)備的情況下，只是將煤焦油原料分餾所得 餾分做為添加劑摻入到煤焦油原料中，即可方便，經(jīng) 濟(jì)、有效地提高煤焦油分餾餾分的萘集中度，萘集中
【摘要】 一種半導(dǎo)體氣相外延的減壓方法及系統(tǒng)。方法 特征是外延氣壓在10～500托下進(jìn)行外延生長，反 應(yīng)后的氣體被抽走。系統(tǒng)特征包括出水管、噴水腔組 成的水抽氣射流循環(huán)裝置。出水管的噴水嘴在噴水 腔內(nèi)。反應(yīng)室與排氣管間設(shè)置了真空壓力計、調(diào)節(jié)截 止閥，排氣管出氣口接入噴水腔。該方法及系統(tǒng)具有 降低外延生長溫度、抑制自摻雜，提高外延層厚度和 電阻率均勻性等效果；并具有氣流＞10升/分，壓力 10～500托能長時間工作，排氣量大、耐腐蝕等優(yōu) 點。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】浙江大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】310027浙江省杭州市玉泉 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】杭州市 【申請人區(qū)縣】西湖區(qū) 【申請?zhí)枴緾N91101787.9 【申請日】1991-03-19 【申請年份】1991 【公開公告號】CN1055258A 【公開公告日】1991-10-09 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1021528C 【授權(quán)公告日】1993-07-07 【授權(quán)公告年份】1993.0 【IPC分類號】H01L21/205; C30B25/14; H01L21/02 【發(fā)明人】葉必光; 沈復(fù)初; 陳堅 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種半導(dǎo)體氣相減壓外延的減壓方法，其中包括硅源氣、氫氣、摻雜氣一起以＞10升/分經(jīng)射頻加熱線圈加熱分解，淀積在襯底上生成的外延層，本發(fā)明的特征在于所述硅源氣、氫氣、摻雜氣一起在10～500托氣壓下進(jìn)行外延生長，反應(yīng)后的氣體由水抽氣射流循環(huán)裝置抽走。 【當(dāng)前權(quán)利人】浙江大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】浙江省杭州市玉泉 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000470095016Q 【被引證次數(shù)】11.0 【被他引次數(shù)】11.0 【家族被引證次數(shù)】12.0
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