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晶片檢測(cè)方法

時(shí)間:2026-04-05    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 0 ) 次

【摘要】 本發(fā)明公開了一種晶片檢測(cè)方法,包括:利用AVI工具中的光學(xué)處理單元獲取晶片光學(xué)圖像;并對(duì)晶片光學(xué)圖像進(jìn)行灰度計(jì)算及分區(qū);選定分區(qū)標(biāo)準(zhǔn)芯片;最后,將不 同分區(qū)內(nèi)的其它芯片同標(biāo)準(zhǔn)芯片進(jìn)行灰度值對(duì)比,檢測(cè)出缺陷芯片。所述分區(qū)的具體方式根據(jù)產(chǎn)品狀況及工藝條件確定;所述分區(qū)可為晶片光學(xué)圖像內(nèi)的任意區(qū)域;所述分區(qū)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)芯片為晶片上實(shí)際存在的芯片或經(jīng)由AVI工具虛擬得到的芯片模型;進(jìn)行所述灰度值對(duì)比之前,需預(yù)先設(shè)定對(duì)比判別標(biāo)準(zhǔn);所述對(duì)比判別標(biāo)準(zhǔn)由具體的產(chǎn)品要求及工藝條件確定。 數(shù)據(jù)由馬 克 團(tuán) 隊(duì)整理 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201203上海市浦東新區(qū)張江路18號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610027587.0 【申請(qǐng)日】2006-06-12 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN101090083A 【公開公告日】2007-12-19 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100499057C 【授權(quán)公告日】2009-06-10 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/66; G01N21/95; G01R31/00 【發(fā)明人】左仲; 王明珠; 呂秋玲; 趙慶國 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種晶片檢測(cè)方法,其特征在于,包括: a.利用自動(dòng)目檢(AVI)工具中的光學(xué)處理單元獲取晶片光學(xué)圖像; b.對(duì)晶片光學(xué)圖像進(jìn)行灰度計(jì)算及分區(qū); c.確定各分區(qū)內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)芯片; d.將不同分區(qū)內(nèi)的其它芯片同標(biāo)準(zhǔn)芯片進(jìn)行灰度值對(duì)比,檢測(cè)出缺陷芯 片。 【當(dāng)前權(quán)利人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司; 中芯國際集成電路制造(北京)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市浦東新區(qū)張江路18號(hào); 北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道18號(hào) 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(外國法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91310115710939629R 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】46 【他引次數(shù)】2.0 【被自引次數(shù)】5.0 【被他引次數(shù)】41.0 【家族引證次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】46

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    發(fā)布時(shí)間:2026-04-05

    【摘要】本發(fā)明提出新的電路系統(tǒng),完成一項(xiàng)與紡織絡(luò)筒機(jī)配套的電子設(shè)備的設(shè)計(jì)。新的電路系統(tǒng)以一個(gè)完善的高速數(shù)字處理電路代替多個(gè)模擬的處理電路,并引入通用的微機(jī)電路,從而使設(shè)備的性能得到有效的改善,功能得到充分?jǐn)U展,價(jià)格功能比成倍地降低。按本發(fā)明

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    【摘要】1.該產(chǎn)品為平面產(chǎn)品。 2.后視圖無設(shè)計(jì)要點(diǎn),省略后視圖。 3.請(qǐng)求保護(hù)的外觀設(shè)計(jì)包含色彩。數(shù)據(jù)由馬 克 團(tuán) 隊(duì)整理【專利類型】外觀設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】社團(tuán)法人浦東新區(qū)工程師協(xié)會(huì); 李璐【申請(qǐng)人類型】個(gè)人,機(jī)關(guān)團(tuán)體【申請(qǐng)人地址】20120

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    發(fā)布時(shí)間:2026-04-05

    【摘要】本發(fā)明提供一種固定電話智能化系統(tǒng),它將用戶數(shù)據(jù)、邏輯號(hào)碼、物理號(hào)碼、簽約的智能業(yè)務(wù)信息接入碼進(jìn)行查詢邏輯編輯;然后通過INAP信令協(xié)議進(jìn)行查詢觸發(fā);業(yè)務(wù)觸發(fā)與智能業(yè)務(wù)邏輯模塊進(jìn)行信息交換后,輸入到呼叫路由器中;以及呼叫篩選、登記端局

    發(fā)布時(shí)間:2026-04-05

    【專利類型】外觀設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】上海家化聯(lián)合股份有限公司【申請(qǐng)人類型】企業(yè)【申請(qǐng)人地址】200082上海市保定路527號(hào)【申請(qǐng)人地區(qū)】中國【申請(qǐng)人城市】上海市【申請(qǐng)人區(qū)縣】虹口區(qū)【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630037046.7【申請(qǐng)日】2006-0

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