【摘要】一種在龍門刨上周邊磨削機(jī)床導(dǎo)軌的方法及其裝置。該方法及其裝置的特點(diǎn)是利用龍門刨床作為工作母機(jī)，不改動(dòng)其結(jié)構(gòu)，只對有關(guān)精度和參數(shù)進(jìn)行調(diào)整選擇，加裝導(dǎo)軌周邊磨削裝置就可以進(jìn)行導(dǎo)軌周邊磨削加工或平面磨削加工。加工質(zhì)量可達(dá)國家車床精度驗(yàn)收標(biāo)
【摘要】 本發(fā)明提供一種對準(zhǔn)標(biāo)記及其制造方法，主要用 于光刻裝置的掩模和晶片對準(zhǔn)；該對準(zhǔn)標(biāo)記包括第一部分結(jié)構(gòu) 和第二部分結(jié)構(gòu)，其中，第二部分結(jié)構(gòu)包括第一光柵和第二光 柵。該第一光柵的周期和第二光柵的周期互不相同且分別分布 在第一部分結(jié)構(gòu)兩側(cè)。第一光柵是高階衍射光增強(qiáng)型光柵，并 且其基本周期內(nèi)有一些細(xì)分結(jié)構(gòu)，可以使零級和偶數(shù)級次衍射 光斑的能量轉(zhuǎn)移到其它奇數(shù)級次上，同時(shí)增強(qiáng)多個(gè)奇數(shù)級次的 衍射光光強(qiáng)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的對準(zhǔn)標(biāo)記結(jié)構(gòu)緊湊、 能夠提高光刻裝置對準(zhǔn)系統(tǒng)的對準(zhǔn)精度和工藝適應(yīng)性。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海微電子裝備有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201203上海市張江高科技園區(qū)張東路1525號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610117227.X 【申請日】2006-10-18 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1936710A 【公開公告日】2007-03-28 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100456142C 【授權(quán)公告日】2009-01-28 【授權(quán)公告年份】2009.0 【發(fā)明人】徐榮偉; 李鐵軍 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種對準(zhǔn)標(biāo)記，主要用于光刻裝置的掩模和晶片對準(zhǔn)；其特征在于，該對準(zhǔn) 標(biāo)記包括第一部分結(jié)構(gòu)和第二部分結(jié)構(gòu)，其中，第二部分結(jié)構(gòu)包括第一光柵和 第二光柵，該第一光柵的周期和第二光柵的周期互不相同且分別分布在第一部 分結(jié)構(gòu)兩側(cè)。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市浦東新區(qū)張東路1525號 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91310000736664790J 【被引證次數(shù)】36 【被自引次數(shù)】8.0 【家族被引證次數(shù)】36
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