【摘要】本發(fā)明涉及一種光刻投影物鏡遠(yuǎn)心測量方法,利用一可起到孔徑光闌作用的專用遠(yuǎn)心掩模,并在該遠(yuǎn)心掩模上設(shè)置至少一個用以測量視場內(nèi)遠(yuǎn)心的通光孔,通過在不同的成像位置測量物體的像來確定通過該點的主光線,從而計算獲得遠(yuǎn)心;測量方法包括:傳感器掃
【專利類型】外觀設(shè)計 【申請人】上海頂新箱包有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201500上海市金山區(qū)朱涇鎮(zhèn)亭楓公路3168號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】金山區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630038728.X 【申請日】2006-07-11 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3638628D 【公開公告日】2007-05-02 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN3638628D 【授權(quán)公告日】2007-05-02 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】王向軍 【主權(quán)項內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】上海頂新箱包有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市金山區(qū)亭楓公路3168號 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(臺港澳與境內(nèi)合資) 【統(tǒng)一社會信用代碼】913100006073695416
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