【專利類型】外觀設計【申請人】上海頂新箱包有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201500上海市金山區(qū)朱涇鎮(zhèn)亭楓公路3168號【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人區(qū)縣】金山區(qū)【申請?zhí)枴緾N200630035467.6【申請日】
【摘要】 本發(fā)明涉及一種微機械電容式加速度傳感器及 制作方法，屬于微電子機械系統(tǒng)領域。其特征在于，最為關鍵 的就是通過可動質量塊上下兩面的彈性梁交錯分布，不重合， 呈90°交叉或平行分布的設計，利用各向異性腐蝕技術，在 (100)單晶硅片上實現(xiàn)在無凸角補償下矩形質量塊的形成，同時 在質量塊的上下兩面形成直彈性梁結構。利用一般的硅硅鍵合 技術實現(xiàn)了三層硅片的鍵合。在上電極和中間電極引出的制作 上，通過可動質量塊電極引出通孔和屋檐形遮擋臺在一步淀積 上電極和可動電極的引線盤的同時，也實現(xiàn)了兩個電極之間的 電信號隔離。本發(fā)明簡化了制作微機械傳感器的工藝，提高了 成品率，在提高器件靈敏度的同時也降低了交叉靈敏度，是一 種實用的加速度傳感器。 來源：百度馬 克 數(shù)據(jù)網(wǎng) 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200050上海市長寧區(qū)長寧路865號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610118484.5 【申請日】2006-11-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1959417A 【公開公告日】2007-05-09 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100492016C 【授權公告日】2009-05-27 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】G01P15/125 【發(fā)明人】熊斌; 范克彬; 車錄峰; 王躍林 【主權項內容】1、一種微機械電容式加速度傳感器，其特征在于所述的傳感器由可動 質量塊、直彈性梁、固定上電極、固定下電極、防過載凸點和可動質量塊電 極引出通孔構成，其中， (1)固定上、下電極分別位于可動質量塊的上下兩邊； (2)直彈性梁的一端與可動電極的錨區(qū)相連，另一端與可動質量塊相連； (3)可動質量塊上、下兩面的直彈性梁交錯分布，不重合； (4)相互平行的電容極板平行于硅片表面； (5)過載保護的凸點制作在質量塊的上下兩表面。 (6)可動質量塊電極引出通孔的位置在可動質量塊的錨區(qū)之上。 【當前權利人】中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所 【當前專利權人地址】上海市長寧區(qū)長寧路865號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000425006790C 【被引證次數(shù)】44 【被自引次數(shù)】9.0 【被他引次數(shù)】35.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】46
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