【專利類型】外觀設計【申請人】上海頂新箱包有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201500上海市金山區(qū)朱涇鎮(zhèn)亭楓公路3168號【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人區(qū)縣】金山區(qū)【申請?zhí)枴緾N200630036777.X【申請日】
【摘要】 本發(fā)明涉及一種掃描探針聲學顯微成像用低頻、 高靈敏度、收發(fā)兩用型傳感器。所述的傳感器是由高靈敏的機 電能量敏感元件、相關機械結構組成。所述的傳感器工作頻 率范圍：2－30kHz，比通常的聲學成像模式工作頻率(幾百kHz －幾十MHz)低1－3個數(shù)量級，它基于掃描探針聲學顯微鏡 (SPAM)的低頻高分辨率的工作模式，用該探測器使成像系統(tǒng) 分辨率可達到5nm，圖像清晰，對比度高。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學院上海硅酸鹽研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200050上海市長寧區(qū)定西路1295號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610117703.8 【申請日】2006-10-27 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1963450A 【公開公告日】2007-05-16 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100585378C 【授權公告日】2010-01-27 【授權公告年份】2010.0 【IPC分類號】G01N13/10; G01N29/24; G01Q60/00 【發(fā)明人】殷慶瑞; 余寒峰; 惠森興; 趙坤宇 【主權項內容】1、一種用于掃描探針聲學顯微成像的低頻、收發(fā)兩用傳感器，其特征 在于它基于低頻高分辨的工作模式，所述的傳感器是由高靈敏度傳感元件、 彈性元件、耦合增強元件，激勵電源接口、傳感器蓋、殼體及絕緣體構成， 其中： (1)敏感元件選用收發(fā)兼用的高機電耦合系數(shù)材料或高壓電系數(shù)的材 料； (2)傳感器蓋和殼體采用精細螺距螺紋連接； (3)激勵電源K通過接口提供幅度和頻率連續(xù)可精細調節(jié)的主輸出及 其同步信號，幅度為+10V--10V，信號源的工作頻率5-100kHz； (4)敏感元件放置在耦合增強元件上，彈性元件放在耦合增強元件下 面，敏感元件、耦合增強元件和彈性元件依次放在殼體內通過絕緣體與殼體 絕緣。 【當前權利人】中國科學院上海硅酸鹽研究所 【當前專利權人地址】上海市長寧區(qū)定西路1295號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000425006547H 【家族引證次數(shù)】3.0
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