【摘要】本發(fā)明涉及一種MEMS微型高靈敏度磁場傳感 器及制作方法,其特征在于所述的磁場傳感器是由雙端固置式 MEMS扭轉微鏡、磁性敏感薄膜和雙光纖準直器構成;金屬反 饋電極和磁性敏感薄膜之間形成器件扭轉間隙;通過調節(jié)架, 利用光學封裝樹脂,
【摘要】 1.平面產品,省略其它視圖。 2.單元圖案四方連續(xù)無限定邊界。 【專利類型】外觀設計 【申請人】上海恒昊玻璃技術有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】200000上海市長寧區(qū)新華路365弄6號2號樓2B 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630100123.9 【申請日】2006-03-27 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3596608D 【公開公告日】2007-01-10 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3596608D 【授權公告日】2007-01-10 【授權公告年份】2007.0 【發(fā)明人】李金鐘 【主權項內容】無 【當前權利人】上海恒昊玻璃技術有限公司 【當前專利權人地址】上海市長寧區(qū)新華路365弄6號2號樓2B 【專利權人類型】有限責任公司(自然人投資或控股) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310105703260140Q
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