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扭轉(zhuǎn)模態(tài)下的硅微機械懸臂梁傳感器驅(qū)動結(jié)構(gòu)、制作方法及應(yīng)用

時間:2026-04-06    作者:admin 點擊: ( 0 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及一種工作在扭轉(zhuǎn)模態(tài)下的諧振式微機械懸臂梁傳感器及其電磁激勵結(jié)構(gòu)、制作方法及應(yīng)用。其特征在于通過采用與懸臂梁扭轉(zhuǎn)諧振模態(tài)的振形相匹配的優(yōu)化布置電磁激勵線圈,產(chǎn)生與懸臂梁扭轉(zhuǎn)方向相同的洛侖茲力力矩激勵起懸臂梁的扭轉(zhuǎn)模態(tài),即依據(jù)扭轉(zhuǎn)模態(tài)振形曲線的極值位移點和不發(fā)生位移的振動節(jié)點位置布置驅(qū)動線圈,使交變驅(qū)動電流在各處均產(chǎn)生與懸臂梁扭轉(zhuǎn)方向相同的洛侖茲力力矩,使驅(qū)動方式與扭轉(zhuǎn)模態(tài)的振形完全匹配。本發(fā)明特點是結(jié)構(gòu)簡單、制作方便、容易實現(xiàn)。所述的傳感器用于對肝癌早期預(yù)警的AFP抗原痕量檢測一階和二階的扭轉(zhuǎn)模態(tài)檢測分辨率分別為3×10-14克和9×10-15克。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200050上海市長寧區(qū)長寧路865號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610147846.3 【申請日】2006-12-22 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1994860A 【公開公告日】2007-07-11 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN1994860B 【授權(quán)公告日】2011-04-20 【授權(quán)公告年份】2011.0 【IPC分類號】B81B3/00; B81C5/00; B81C1/00; G01N13/00; B81C99/00 【發(fā)明人】金大重; 李昕欣 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種扭轉(zhuǎn)模態(tài)下的硅微機械懸臂梁傳感器的電磁激勵驅(qū)動方式,其 特征在于通過采用與懸臂梁扭轉(zhuǎn)諧振模態(tài)的振形相匹配的優(yōu)化布置電磁激 勵線圈,產(chǎn)生與懸臂梁扭轉(zhuǎn)方向相同的洛侖茲力力矩激勵起懸臂梁的扭轉(zhuǎn)模 態(tài),即依據(jù)扭轉(zhuǎn)模態(tài)振形曲線的極值位移點和不發(fā)生位移的振動節(jié)點位置布 置驅(qū)動線圈,使交變驅(qū)動電流在各處均產(chǎn)生與懸臂梁扭轉(zhuǎn)方向相同的洛侖茲 力力矩,使驅(qū)動方式與扭轉(zhuǎn)模態(tài)的振形完全匹配。。來源:百度馬 克 數(shù)據(jù)網(wǎng) 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市長寧區(qū)長寧路865號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000425006790C 【被引證次數(shù)】7 【被自引次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】4.0 【家族引證次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】7

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