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一種晶體硅太陽電池熱擴散制備PN結的方法

時間:2026-04-06    作者:admin 點擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明提供一種晶體硅太陽電池熱擴散制備PN結的新方法,該方法涉及晶體硅太陽電池技術領域,其步驟包括:在常規(guī)晶體硅太陽電池生產(chǎn)工藝過程第(3)步熱擴散制備PN結工藝中增加硅片降溫、控制溫度和時間等步驟,即硅片離開高溫擴散爐前先降溫,其方法是使石英管中硅片溫度降低200℃~300℃。具體步驟如下:a.設置熱擴散工藝參數(shù)制備PN結;b.對石英管中硅片降溫,使硅片溫度比擴散溫度低200℃~300℃,降溫時間為(10~60)分鐘;c.從石英管中取出硅片。采用上述新方法,能降低晶體硅熱損傷,減小熱應力彎曲或碎裂,減少空氣中雜質對PN結的影響,提高晶體硅太陽電池的電流、電壓、功率及光電轉換效率,降低生產(chǎn)成本。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】唐則祁 【申請人類型】個人 【申請人地址】200042上海市長寧區(qū)江蘇北路111弄3號406室 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610027299.5 【申請日】2006-06-05 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101087006A 【公開公告日】2007-12-12 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN101087006B 【授權公告日】2011-04-20 【授權公告年份】2011.0 【IPC分類號】H01L31/18 【發(fā)明人】唐則祁 【主權項內(nèi)容】1、一種晶體硅太陽電池熱擴散制備PN結的方法,擴散工藝參 數(shù)包括擴散溫度、擴散時間及氣體流量等,其特征在于,所述的熱擴 散制備PN結,包括以下工藝步驟: a、設置熱擴散工藝參數(shù)制備PN結; b、對石英管中硅片降溫,使硅片溫度比擴散溫度低200℃~300 ℃,降溫時間為(10~60)分鐘; c、從石英管中取出硅片。 【當前權利人】浙江光達電子科技有限公司 【當前專利權人地址】浙江省溫州市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)濱海園區(qū)五道十三路308號 【被引證次數(shù)】8 【被他引次數(shù)】8.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】8

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