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一種磁控濺射鍍膜用低熔點(diǎn)金屬與背板加工工藝

時(shí)間:2026-04-07    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 0 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及一種磁控濺射鍍膜用低熔點(diǎn)金屬與 背板加工工藝,該工藝包括準(zhǔn)備低熔點(diǎn)金屬坯料和背板材料, 對(duì)背板材料進(jìn)行處理,使背板層與低熔點(diǎn)金屬層接觸的一面呈 規(guī)則或不規(guī)則的槽或溝,增加其表面積,將低熔點(diǎn)金屬坯料熔 化,清理背板雜質(zhì),將低熔點(diǎn)金屬熔液澆注在背板上,去熔液 雜質(zhì)并冷卻,機(jī)加工成型。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明增加了低 熔點(diǎn)金屬層與背板層間的接觸面積,提高了靶材的粘接強(qiáng)度和 冷卻效果,相應(yīng)提高濺射功率,從而提高生產(chǎn)效率。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】上海賀利氏工業(yè)技術(shù)材料有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201108上海市閔行區(qū)顓橋鎮(zhèn)光中路1號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610030462.3 【申請(qǐng)日】2006-08-25 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1952208A 【公開公告日】2007-04-25 【公開公告年份】2007 【發(fā)明人】程遠(yuǎn)達(dá); 余前春; 夏黎海; 丁亞強(qiáng) 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種磁控濺射鍍膜用低熔點(diǎn)金屬與背板加工工藝,其特征在于,該工藝 包括準(zhǔn)備低熔點(diǎn)金屬坯料和背板材料,對(duì)背板材料進(jìn)行處理,使背板層與低熔 點(diǎn)金屬層接觸的一面呈規(guī)則或不規(guī)則的槽或溝,增加其表面積,將低熔點(diǎn)金屬 坯料熔化,清理背板雜質(zhì),將低熔點(diǎn)金屬熔液澆注在背板上,去熔液雜質(zhì)并冷 卻,機(jī)加工成型。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海賀利氏工業(yè)技術(shù)材料有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)顓橋鎮(zhèn)光中路1號(hào) 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(中外合作) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】913100006072618646 【被引證次數(shù)】2 【家族被引證次數(shù)】2

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