【摘要】本外觀設計產品系紡織物、薄型產品，厚度不超過10mm， 后視圖與主視圖相同，省略后視圖； 請求保護的外觀設計包含色彩。馬 克 數(shù) 據(jù) 網【專利類型】外觀設計【申請人】上海天合工藝品有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201107
【摘要】 本實用新型公開了一種掃描式離子槍，包括放電 室，置于放電室內的柵極組件以及圍繞放電室的會聚磁場裝 置，其中，柵極組件由中心均有圓孔的源極、柵極和加速極絕 緣構成，會聚磁場覆蓋源極和柵極，其特征在于：放電室的位 于加速極一側的端口設有掃描磁場裝置。該掃描式離子槍通過 磁場裝置使將離子束在X－Y方向上掃描的方式，實現(xiàn)了大面 積的均勻的薄膜蝕刻。并且具有結構簡單，制造成本低廉的優(yōu) 點。 【專利類型】實用新型 【申請人】上海市七寶中學 【申請人類型】學校 【申請人地址】201101上海市閔行區(qū)七寶鎮(zhèn)七中路1號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620040265.5 【申請日】2006-03-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2879416Y 【公開公告日】2007-03-14 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2879416Y 【授權公告日】2007-03-14 【授權公告年份】2007.0 【發(fā)明人】劉陽旸 【主權項內容】1、一種掃描式離子槍，包括放電室，置于放電室內的柵極組件以及圍繞 放電室的會聚磁場裝置，其中，柵極組件由中心均有圓孔的源極、柵極和加 速極構成，會聚磁場覆蓋源極和柵極，其特征在于：放電室的位于加速極一 側的端口設有掃描磁場裝置。 【當前權利人】上海市七寶中學 【當前專利權人地址】上海市閔行區(qū)七寶鎮(zhèn)七中路1號 【統(tǒng)一社會信用代碼】123101124250473143 【被引證次數(shù)】2 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】2
未經允許不得轉載：http://www.sg012.cn/1775532417.html
喜歡就贊一下
