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低溫下制備銳鈦礦晶相二氧化鈦薄膜的方法

時(shí)間:2026-04-07    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 3 ) 次

【摘要】 一種低溫下制備銳鈦礦晶相二氧化鈦薄膜的方法,屬于寬禁帶半導(dǎo)體光催化科技領(lǐng)域。本發(fā)明通過反應(yīng)磁控濺射在基材上沉積二氧化鈦膜,在沉積過程中基材所在基底不加熱且通過水冷系統(tǒng)冷卻,氬氣流量保持在30sccm,調(diào)節(jié)氬氣與氧氣的流量比在10∶1至5∶1之間,調(diào)節(jié)總氣壓在1Pa-4Pa之間,調(diào)節(jié)功率密度在1.4W/cm2-2.8W/cm2之間,在基底上加上負(fù)偏壓在20V-100V之間,然后開始直流反應(yīng)磁控濺射成膜,在沉積薄膜的過程中,腔體內(nèi)等離子體中大量氬正離子在基底偏壓的驅(qū)動(dòng)下對(duì)沉積過程中的二氧化鈦薄膜進(jìn)行有效轟擊,基底溫度始終低于80℃,最終實(shí)現(xiàn)在不耐熱的基材上制備具有光致活性的銳鈦礦晶相二氧化鈦薄膜。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海交通大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610147219.X 【申請日】2006-12-14 【申請年份】2006 【公開公告號(hào)】CN100999816A 【公開公告日】2007-07-18 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100465332C 【授權(quán)公告日】2009-03-04 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】C23C14/35; C23C14/54; C23C14/08 【發(fā)明人】鐘曉霞; 周威; 束奇?zhèn)? 夏宇興 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種低溫下制備銳鈦礦晶相二氧化鈦薄膜的方法,其特征在于,步驟如 下: (1)將用于制備薄膜的基材清洗后烘干后備用; (2)將鈦靶固定在磁控陰極靶托上,并將清洗烘干后用于制備薄膜的基材 固定在磁控濺射系統(tǒng)真空室的樣品基座上,調(diào)節(jié)靶面至樣品的距離以及靶表面上 濺射區(qū)域的磁場強(qiáng)度; (3)烘烤磁控濺射系統(tǒng)真空室,待真空室本底真空抽至1×10-4Pa以下時(shí), 通入氬氣,直至氣壓達(dá)到0.8Pa-4Pa之間后,對(duì)濺射系統(tǒng)中的鈦靶進(jìn)行直流 輝光濺射清洗; (4)待濺射清洗完成后,通過反應(yīng)磁控濺射在基材上沉積二氧化鈦膜,在 沉積過程中基材所在基底不加熱且通過水冷系統(tǒng)冷卻,調(diào)節(jié)氬氣與氧氣的流量 比在10∶1至5∶1之間,調(diào)節(jié)總氣壓在1Pa-4Pa之間,調(diào)節(jié)功率密度在1.4 W/cm2-2.8W/cm2之間,在基底上加上負(fù)偏壓在20V-100V之間,然后開始直 流反應(yīng)磁控濺射成膜,在整個(gè)過程中,基底溫度始終低于80℃; (5)濺射后從真空室取出試樣,即在基材表面沉積了一層具有光致活性的 銳鈦礦晶相二氧化鈦薄膜。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1210000042500615X0 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】15 【他引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】15.0 【家族引證次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】16

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