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多信道可調(diào)光衰減器

時間:2026-04-09    作者:admin 點擊: ( 2 ) 次

【摘要】 本實用新型涉及集成光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域。它提出了一種多信道可調(diào)光衰減器,是基于平面光波導(dǎo)技術(shù),采用半導(dǎo)體硅基沉積二氧化硅和金屬薄膜濺射法的多層平面晶圓加工制作工藝和技術(shù)??烧{(diào)光衰減器的光路由馬赫-曾德干涉儀的上臂調(diào)節(jié)支路和下臂直通構(gòu)支路構(gòu)成;置于調(diào)節(jié)支路上面的加熱電路由高電導(dǎo)率的導(dǎo)電層和高電阻率的加熱層構(gòu)成,通過電子控制可調(diào)電源,調(diào)節(jié)溫度,以改變輸出光信號的強度。深度蝕刻的隔熱槽結(jié)構(gòu),可提高衰減器的調(diào)節(jié)深度,減小多信道可調(diào)光衰減器的串?dāng)_。該光器件不但結(jié)構(gòu)緊湊、集成度高、體積小,重量輕,性能穩(wěn)定可靠;而且制作工藝成熟、穩(wěn)定、適合大批量生產(chǎn)、生產(chǎn)效率高、成本低,可廣泛應(yīng)用于光通信網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)和光學(xué)儀器設(shè)備。 (macrodatas.cn) 【專利類型】實用新型 【申請人】陳谷紅; 管樺 【申請人類型】個人 【申請人地址】200042上海市靜安區(qū)萬春街162弄56支弄30號1902室 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】靜安區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620044674.2 【申請日】2006-08-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200968996Y 【公開公告日】2007-10-31 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN200968996Y 【授權(quán)公告日】2007-10-31 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】G02B6/10 【發(fā)明人】陳谷紅; 管樺 【主權(quán)項內(nèi)容】1.多信道可調(diào)光衰減器,由多層光電晶圓結(jié)構(gòu)組成,包括硅基、襯墊、波導(dǎo)光芯、覆蓋 包層、加熱層、導(dǎo)電層、保護層和深度蝕刻層,其特征在于:硅基晶圓上沉積折射率及厚度 不同的二氧化硅襯墊、波導(dǎo)光芯和覆蓋包層,構(gòu)成平面光波導(dǎo)層;平面光波導(dǎo)層的光路調(diào)節(jié) 支路上面濺射金屬薄膜加熱層和導(dǎo)電層;在金屬薄膜上面沉積防金屬氧化的保護層;光路調(diào) 節(jié)支路和信道間蝕刻深度隔熱槽;可調(diào)光衰減器的光路由馬赫-曾德干涉儀單元構(gòu)成,加熱電 路由電子控制的可調(diào)電源、高電導(dǎo)率的金屬導(dǎo)電薄膜電路、高電阻率的金屬加熱薄膜片以及 電路接口組成。 【當(dāng)前權(quán)利人】陳谷紅; 管樺 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市靜安區(qū)萬春街162弄56支弄30號1902室; 【被引證次數(shù)】15 【被他引次數(shù)】15.0 【家族被引證次數(shù)】15

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    【摘要】使用本外觀設(shè)計的產(chǎn)品的仰視圖不可見,且無設(shè)計要點,省略仰 視圖?!緦@愋汀客庥^設(shè)計【申請人】上海中凱企業(yè)集團有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】200041上海市石門一路116號3樓【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請

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