【摘要】后視圖與主視圖對稱，省略后視圖。 折疊或使用狀態(tài)圖【專利類型】外觀設(shè)計【申請人】國營南昌鋁制品廠【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】330002江西省南昌市岔道口西路26號【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】南昌市【申請人區(qū)縣】西湖區(qū)【申請
【摘要】 大容量圓筒形平板型干法刻蝕機是一種等離子 體微細(xì)加工專用設(shè)備。該機容量大，刻蝕精度較高且 均勻，能連續(xù)完成打底膜、刻蝕、去膠。生產(chǎn)效率高，結(jié) 構(gòu)簡單，成本低，其特征是：反應(yīng)室內(nèi)有水平放置的三 個以上電極板或二個以上垂直于水平面放置的電極 板，奇數(shù)極板并聯(lián)為一組，偶數(shù)極板并聯(lián)為一組，在電 源線路高頻放電回路上并聯(lián)有可調(diào)節(jié)的直流偏置電 路或正負(fù)半周對稱波形可調(diào)節(jié)交流低頻偏置電路，進(jìn) 氣口和出氣口按排連接恰當(dāng)。 【專利類型】實用新型 【申請人】張崇玖; 何圣梅 【申請人類型】個人 【申請人地址】226007江蘇省南通市易家橋新村20號樓305室 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】南通市 【申請人區(qū)縣】崇川區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90215562.8 【申請日】1990-12-12 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2084232U 【公開公告日】1991-09-04 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN2084232U 【授權(quán)公告日】1991-09-04 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01J37/305; H01J37/077; H05K3/08; H01J37/06; H05K3/02 【發(fā)明人】張崇玖; 何圣梅 【主權(quán)項內(nèi)容】1、大容量圓筒形平板型干法刻蝕機，有圓筒形反應(yīng)室、內(nèi)電極板、反應(yīng)室密封帽、真空泵、進(jìn)出氣管、刻蝕源流量計及電源線路部分組成，真空泵和刻蝕源流量計分別用連接管與反應(yīng)室連接，反應(yīng)室密封帽套在反應(yīng)室開口處，內(nèi)電極板置于反應(yīng)室內(nèi)，電極電源引出端與高頻電源線路輸出端連接，其特征是：內(nèi)電極板為三個以上(含三個)水平電極板，或二個以上(含二個)垂直于水平面電極板，反應(yīng)室的徑向兩側(cè)或軸向兩端有進(jìn)氣口和出氣口。 【當(dāng)前權(quán)利人】張崇玖; 何圣梅 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】江蘇省南通市易家橋新村20號樓305室;
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