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氮(氬、氦)通用終端超凈裝置及精制流程

時(shí)間:2026-04-01    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 0 ) 次

【摘要】 一種氮(氬、氦)通用終端超凈裝置由RC反應(yīng) 柱,一對(duì)RAC反應(yīng)去濕組合柱,GC反應(yīng)柱和再生 活化系統(tǒng)組成。該裝置由于在再生活化氣路中加有 起勻壓和控制成品氣吹掃量的一阻尼管和控制閥,因 此可以采用抽空和吹掃兩種再生活化方式相結(jié)合。 采用這種超凈裝置可將4N級(jí)原料氣連續(xù)凈化成6N 級(jí)以上超凈氣體。此外,該裝置的抽空機(jī)組不必連續(xù) 抽空運(yùn)行,吹掃用的成品氣只占成品氣的1%。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所; 化學(xué)工業(yè)部光明化工研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】遼寧省大連市中山路161號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】大連市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】中山區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90105033.4 【申請(qǐng)日】1990-02-20 【申請(qǐng)年份】1990 【公開公告號(hào)】CN1054232A 【公開公告日】1991-09-04 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1024526C 【授權(quán)公告日】1994-05-18 【授權(quán)公告年份】1994.0 【IPC分類號(hào)】C01B21/04; C01B23/00; C01B21/00 【發(fā)明人】程德鑫; 孔照榮; 唐學(xué)淵; 張儒杰; 張俊香; 蔡體杰; 李景芝; 張喜善; 高增; 吳華春; 鐘秀貞; 儲(chǔ)毅; 王武明; 趙敏; 韓同生; 李康善 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】來自:馬 克 團(tuán) 隊(duì) 。1、一種氮(氬、氦)通用終端超凈裝置由RC反應(yīng)柱、一對(duì)RAC反應(yīng)去濕組合柱,GC反應(yīng)柱和再生活化系統(tǒng)幾部分組成,其特征在于再生活化系統(tǒng)的氣路部分中加有起勻壓和控制成品氣吹掃量的一阻尼管和控制閥。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所; 化學(xué)工業(yè)部光明化工研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】遼寧省大連市中山路161號(hào); 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400012705A 【被引證次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1.0

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