【摘要】一種手提式拋光機，包括有一個由后蓋、前蓋、外 殼組成的全塑結構的帶把的殼體，以及電機、開關、刷 頭和軸套。電機固定于外殼內壁上的圓環(huán)處，另一端 用彈性減震環(huán)與外殼相連。外殼把手前設計為一斜 面，安裝有帶指示燈的開關。可通過斜面處的空
【摘要】 本實用新型公開了一種集成電路制造中提高對準精度的測試結構，內外對準結構為正多邊形。其有益效果是不僅支持半導體工藝中普遍采用的X軸、Y軸兩維測試，更能夠滿足先進的對角線布局設計的需求，測試對角傾斜方向的套準表現(xiàn)，大大減少了數(shù)據(jù)處理運算時間并提高了相應的精度，且多邊邊界分離的設計結構提高了圖形對比度。 【專利類型】實用新型 【申請人】上海集成電路研發(fā)中心有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201203上海市張江高科技園區(qū)碧波路177號華虹科技園4樓 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620042880.X 【申請日】2006-06-19 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200983364Y 【公開公告日】2007-11-28 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200983364Y 【授權公告日】2007-11-28 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01L27/00; H01L23/544 【發(fā)明人】朱駿 【主權項內容】權利要求書 1.一種集成電路制造中提高對準精度的測試結構，包括內外相互嵌 套且中心重合的兩部分對準結構，其特征在于：內部對準結構為 正多邊形，其邊數(shù)至少為八，相應地，外部對準結構也為正多邊 形，其邊數(shù)與內部對準結構多邊形的邊數(shù)一致。 【當前權利人】上海集成電路研發(fā)中心有限公司 【當前專利權人地址】上海市張江高科技園區(qū)碧波路177號華虹科技園4樓 【專利權人類型】有限責任公司(國有控股) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310115745635158X 【被引證次數(shù)】6 【被他引次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】6
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