【摘要】一種全封閉式五防明鎖，采用碰撞式內(nèi)部鎖合形 式，外殼采用非鑄鐵類材料制成，為全封閉的金屬殼， 另外包括舌簧、傳動(dòng)板、密碼盤等部件，傳動(dòng)板受密碼 盤的限位和控制，具有防撬、防鋸、防砸、防鉆、防銹、 蝕等功能，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造容易，使用方
【摘要】 本實(shí)用新型涉及一種反應(yīng)腔內(nèi)壁清掃裝置。現(xiàn)有的反應(yīng)腔在清掃內(nèi)壁時(shí)只有拆開(kāi)反應(yīng)腔才能進(jìn)行內(nèi)壁清掃，致使清掃過(guò)程復(fù)雜、用時(shí)過(guò)長(zhǎng)、浪費(fèi)人力且污染環(huán)境。本實(shí)用新型的反應(yīng)腔內(nèi)壁清掃裝置，包括一設(shè)置在該反應(yīng)腔內(nèi)的清掃單元、一驅(qū)動(dòng)該清掃單元清掃反應(yīng)腔內(nèi)壁的驅(qū)動(dòng)單元以及一設(shè)置在該反應(yīng)腔底端且與反應(yīng)腔連通的收集單元。采用本實(shí)用新型的反應(yīng)腔內(nèi)壁清掃裝置能簡(jiǎn)化清掃過(guò)程且節(jié)約人力及清掃時(shí)間，并使清掃過(guò)程清潔無(wú)污染。。 （macrodatas.cn） 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201203上海市張江路18號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620049606.5 【申請(qǐng)日】2006-12-27 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN200984581Y 【公開(kāi)公告日】2007-12-05 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN200984581Y 【授權(quán)公告日】2007-12-05 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號(hào)】B08B9/20; B08B9/36; H01L21/00 【發(fā)明人】趙春波 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種反應(yīng)腔內(nèi)壁清掃裝置，其特征在于，該裝置包括一設(shè)置在該反應(yīng)腔 內(nèi)用以清掃反應(yīng)腔內(nèi)壁的清掃單元、一驅(qū)動(dòng)該清掃單元清掃反應(yīng)腔內(nèi)壁的驅(qū)動(dòng) 單元以及一設(shè)置在該反應(yīng)腔底端且與反應(yīng)腔連通的收集單元。 【當(dāng)前權(quán)利人】中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)文昌大道18號(hào) 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(外國(guó)法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91310115710939629R 【被引證次數(shù)】3 【被他引次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】3
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