【摘要】本發(fā)明是關于一種分離式吸塵方法與裝置的發(fā)明。本發(fā)明提供了一種無過濾濾袋又合理地利用了葉輪工作產生的全壓，吹吸結合，工作長期穩(wěn)定，不用清灰的高效吸灰器(車)。該發(fā)明中裝有離心式葉輪，旋轉時氣流帶動灰塵經(jīng)吸管吸入葉輪中，由于離心力作用，
【摘要】 本發(fā)明提供了一種用于光學顯微鏡下的標記工具，包括滑動導軌、一對導向桿、油印頭及卡套，實現(xiàn)了快速、準確、方便地標記，避免了晶圓代工廠中對晶圓進行標記是人工操作的所帶來的諸多問題。 來自：馬 克 團 隊 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201203上海市浦東新區(qū)張江路18號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610027450.5 【申請日】2006-06-08 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101086950A 【公開公告日】2007-12-12 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100466165C 【授權公告日】2009-03-04 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L21/00; B41K3/00 【發(fā)明人】季春葵; 張啟華; 董偉淳; 梁山安 【主權項內容】1.一種用于光學顯微鏡下的標記工具，包括一滑動導軌、放置在 滑動導軌上的一對導向桿、以及導向桿上可沿導向桿移動的標記件，其 特征在于整套工具的高度小于顯微鏡鏡頭到晶圓的高度。 【當前權利人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司; 中芯國際集成電路制造(北京)有限公司 【當前專利權人地址】上海市浦東新區(qū)張江路18號; 北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)文昌大道18號 【專利權人類型】有限責任公司(外國法人獨資) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310115710939629R 【被引證次數(shù)】3 【被他引次數(shù)】3.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】3
未經(jīng)允許不得轉載：http://www.sg012.cn/1775390767.html
喜歡就贊一下
