【摘要】請(qǐng)求保護(hù)的外觀設(shè)計(jì)包含有色彩?！緦＠愋汀客庥^設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】社團(tuán)法人浦東新區(qū)工程師協(xié)會(huì); 張海潮【申請(qǐng)人類型】個(gè)人,機(jī)關(guān)團(tuán)體【申請(qǐng)人地址】201203上海市張江高科技園區(qū)郭守敬路189號(hào)【申請(qǐng)人地區(qū)】中國【申請(qǐng)人城市】上海市【申請(qǐng)人
【摘要】 本發(fā)明公開了一種紅外焦平面列陣器件混成互 連銦柱的微熔回流加固方法，該方法是在紅外光敏感列陣芯片 和讀出電路在常規(guī)的冷壓混成互連后，采用甲酸作為還原劑， 在金屬銦的熔點(diǎn)溫度下進(jìn)行混成互連銦柱的微熔回流加固，以 增強(qiáng)混成互連銦柱之間及內(nèi)部的鍵合力，以及混成互連銦柱與 金屬化電極層間的機(jī)械接觸強(qiáng)度，從而確保紅外光敏感列陣芯 片與硅讀出電路之間的電學(xué)連通，并提高紅外焦平面混成互連 的機(jī)械可靠性。本發(fā)明方法操作簡(jiǎn)單，便于在工藝上實(shí)現(xiàn)。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】200083上海市玉田路500號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】虹口區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610117107.X 【申請(qǐng)日】2006-10-13 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1937190A 【公開公告日】2007-03-28 【公開公告年份】2007 【發(fā)明人】葉振華; 胡曉寧; 王建新; 周文洪; 王晨飛; 丁瑞軍 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種紅外焦平面列陣器件混成互連銦柱的微熔回流加固方法，其特征在 于具體步驟如下： §A.將由銦柱冷壓混成互連成的紅外焦平面列陣器件樣品與監(jiān)控銦片一起 放到可自動(dòng)升降控溫的回熔爐的樣品臺(tái)上； §B.然后對(duì)樣品室抽真空至6×10-3mbar以下，加熱樣品和監(jiān)控銦片，在 1-1.5分鐘內(nèi)將其迅速加熱到銦的熔點(diǎn)，同時(shí)在這一升溫和互連銦柱微熔加固的 過程中，往腔室里通入500～600L/小時(shí)的含有甲酸氣氛的氮?dú)饬鳎摵姿釟?氛的氮?dú)饬饔傻獨(dú)馔ㄟ^80％的甲酸液體產(chǎn)生； §C.觀察監(jiān)控銦片，當(dāng)銦片回流成球后，立即停止含甲酸氣氛的氮?dú)饬魅耄?以流速為2000～2500L/小時(shí)的大流量的氮?dú)獯禈悠?，且起用樣品臺(tái)冷卻降溫功 能，使樣品在10-20秒內(nèi)迅速降至室溫，然后將氮?dú)饬魉俳禐?00～500L/小時(shí)， 并維持30-40分鐘來清洗回流微熔加固過程中殘留的甲酸氣體及反應(yīng)生成物，確 保微熔回流后的樣品能夠長(zhǎng)時(shí)間儲(chǔ)存。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市玉田路500號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000425005579K 【被引證次數(shù)】4 【被自引次數(shù)】2.0 【家族被引證次數(shù)】4
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