【摘要】本發(fā)明涉及一種在半導(dǎo)體器件的光刻過程中縮小用于形成接觸孔的光刻膠圖案的臨界尺寸，從而允許得到臨界尺寸在90nm以下的接觸孔圖案的方法。所述方法包括a)在襯底上涂覆光刻膠，形成光刻膠層；b)利用具有預(yù)定圖案的掩模對(duì)光刻膠層進(jìn)行曝光；c
【摘要】 本實(shí)用新型公開了一種汽車空調(diào)蒸發(fā)器，它包括 多個(gè)翅片，其特點(diǎn)是在翅片與翅片之間設(shè)有扁管，扁管的兩端 分別與所設(shè)的左、右塊狀集液器相接插。扁管的槽口將扁管內(nèi) 的小通孔分隔成前、后兩面流程，隔板將塊狀集液器內(nèi)的通孔 分隔成上、下兩段流程。當(dāng)蒸發(fā)器工作時(shí)，制冷劑在蒸發(fā)器設(shè) 置的上、下、前、后流程內(nèi)運(yùn)行。本實(shí)用新型采用型材作扁管 和塊狀集液器，代替了現(xiàn)有的鋁合金薄片沖壓成的層疊式流 道，提高了蒸發(fā)器的強(qiáng)度性能，適用于二氧化碳作制冷劑的蒸 發(fā)器。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】上海德爾福汽車空調(diào)系統(tǒng)有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201204上海市浦東新區(qū)滬南路1768號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620040246.2 【申請(qǐng)日】2006-03-16 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN2893558Y 【公開公告日】2007-04-25 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN2893558Y 【授權(quán)公告日】2007-04-25 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】胡偉 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】詳見官網(wǎng)：www.macrodatas.cn 。1.一種汽車空調(diào)蒸發(fā)器，包括多個(gè)翅片，其特征在于它還包括扁管、左塊狀集液 器、右塊狀集液器，該扁管設(shè)在翅片與翅片之間，扁管的兩端分別與所設(shè)的左、右塊狀 集液器相接插。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海德爾福汽車空調(diào)系統(tǒng)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市浦東新區(qū)滬南路1768號(hào) 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】9131011560738432XP
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