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背向集成微透鏡紅外焦平面探測(cè)器及微透鏡的制備方法

時(shí)間:2026-04-05    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 0 ) 次

【摘要】 一種背向集成微透鏡紅外焦平面探測(cè)器及微透 鏡的制備方法,該探測(cè)器包括:紅外光敏元列陣芯片、讀出電 路、混成互連銦柱和微透鏡列陣。微透鏡列陣是在紅外光敏元 列陣芯片的襯底背面直接通過(guò)微機(jī)械加工形成的。采用了記憶 焦平面探測(cè)芯片正面圖形的光刻方法以及等離子體組合刻蝕 技術(shù),獲得的背向集成微透鏡各個(gè)光軸在空間上與其對(duì)應(yīng)的光 敏像元的光敏面中心法線重合。本發(fā)明的最大優(yōu)點(diǎn)是微透鏡列 陣的引入,對(duì)入射目標(biāo)紅外輻射有會(huì)聚功能,既提高了紅外焦 平面探測(cè)器光敏元的響應(yīng)率,又能減小紅外焦平面探測(cè)器、特 別是高密度像元的紅外焦平面探測(cè)器相鄰像元之間的空間串 音。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】200083上海市玉田路500號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】虹口區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610117106.5 【申請(qǐng)日】2006-10-13 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN1933149A 【公開(kāi)公告日】2007-03-21 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100444381C 【授權(quán)公告日】2008-12-17 【授權(quán)公告年份】2008.0 【發(fā)明人】葉振華; 周文洪; 胡曉寧; 王晨飛; 丁瑞軍; 何力 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種背向集成微透鏡紅外焦平面探測(cè)器,包括:紅外光敏元列陣芯片(1)、 讀出電路(2)、混成互連銦柱(3)和微透鏡列陣(4);紅外焦平面探測(cè)器由紅 外光敏元列陣芯片(1)通過(guò)混成互連銦柱(3)與讀出電路(2)電連接構(gòu)成; 紅外光敏元列陣芯片(1)由襯底(101),襯底上置有響應(yīng)紅外目標(biāo)輻射的光敏 元列陣(102)構(gòu)成;在襯底(101)上,在光敏元列陣的旁邊還有原本用于與 讀出電路連接的至少二個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(103);其特征在于: 所說(shuō)的微透鏡列陣(4)是直接通過(guò)微機(jī)械加工在紅外光敏元列陣芯片的襯 底(101)背面形成的,微透鏡列陣中的各個(gè)微透鏡在空間上,分別一一垂直對(duì) 應(yīng)于光敏元列陣(102)中的各個(gè)光敏元,且每一個(gè)微透鏡的光軸與其對(duì)應(yīng)的光 敏元的光敏面中心法線重合,入射紅外目標(biāo)輻射經(jīng)微透鏡匯聚于光敏元的中心 區(qū)域。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市玉田路500號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000425005579K 【被引證次數(shù)】16 【被自引次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】13.0 【家族被引證次數(shù)】16

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