【摘要】本發(fā)明涉及一種用于集成電路多層互連結(jié)構(gòu)金 屬化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)的拋光液原位批處理方法及所使用的裝 置。創(chuàng)新點(diǎn)在于利用電化學(xué)工作原理，將拋光產(chǎn)生的金屬離子 還原轉(zhuǎn)移達(dá)到去除的目的，同時(shí)恢復(fù)拋光液中氧化劑的功能。 所述的裝置是在傳統(tǒng)
【摘要】 本實(shí)用新型針片式雙排頂梳，它是在頂梳板上，把前排針片頂梳和后排針片頂梳分別置于頂梳板的前面和后面，用螺釘緊固成一體。前排針片頂梳由密度密的彎針植針成一條后，夾在兩塊不銹鋼板中間粘接成一體。后排針片頂梳由密度稀的彎針植針成一條后，夾在兩塊折彎成一角度的不銹鋼板中間粘接成一體。前排針片頂梳和后排針片頂梳的密度可根據(jù)需要進(jìn)行不同密度的組合。針片式雙排頂梳用于精梳機(jī)的頂梳部件。由兩種密度不同的前排針片頂梳和后排針片頂梳的彎針共同對(duì)纖維進(jìn)行由稀到密的梳理，進(jìn)一步除去結(jié)雜短絨，提高纖維伸直度和延長彎針使用期。 （macrodatas.cn） 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】楊國慶 【申請(qǐng)人類型】個(gè)人 【申請(qǐng)人地址】200336上海市長寧區(qū)仙霞街道茅臺(tái)路597弄3號(hào)603室 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620046831.3 【申請(qǐng)日】2006-10-16 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN200978310Y 【公開公告日】2007-11-21 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN200978310Y 【授權(quán)公告日】2007-11-21 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號(hào)】D01G19/10; D01G19/00 【發(fā)明人】楊國慶 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種針片式雙排頂梳，在頂梳板上，前排針片頂梳、頂梳板、后排針片頂梳順序連接，用 螺釘緊固成一體，其特征是：前排針片頂梳與頂梳板前面連接，后排針片頂梳與頂梳板后 面連接。 【當(dāng)前權(quán)利人】楊國慶 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市長寧區(qū)仙霞街道茅臺(tái)路597弄3號(hào)603室 【被引證次數(shù)】2 【被他引次數(shù)】2.0 【家族被引證次數(shù)】2
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