【摘要】本發(fā)明利用電磁場(chǎng)約束電感耦合等離子體濺射 沉積法,以Co為磁性摻雜源,以Al為施主摻雜源制備(Co, Al)共摻雜的ZnO薄膜。制備過(guò)程采用Zn1-x - yCoxAlyO(0<x≤0.15,0<y≤0.03)靶材,Co的 摻雜濃度
【專(zhuān)利類(lèi)型】外觀設(shè)計(jì) 【申請(qǐng)人】奧雷通光通訊設(shè)備(上海)有限公司 【申請(qǐng)人類(lèi)型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】200335上海市長(zhǎng)寧區(qū)天山西路789號(hào)3樓西側(cè) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】長(zhǎng)寧區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630037345.0 【申請(qǐng)日】2006-06-06 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN3649285D 【公開(kāi)公告日】2007-05-23 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN3649285D 【授權(quán)公告日】2007-05-23 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】楊毓英; 胡曉寶; 吳晨萍 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無(wú) 【當(dāng)前權(quán)利人】奧雷通光通訊設(shè)備(上海)有限公司 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】上海市長(zhǎng)寧區(qū)天山西路789號(hào)3樓西側(cè)
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