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VNSiO2納米多層涂層及其制備方法

時間:2026-04-06    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 一種VN/SiO2納米 多層涂層及其制備方法,屬于陶瓷涂層領(lǐng)域。 VN/SiO2高硬度納米多層涂層由 VN層和SiO2層交替沉積在金 屬、硬質(zhì)合金或陶瓷基底上形成,VN層的厚度為2~10nm, SiO2層厚為0.3~1.2nm。本發(fā)明 涂層制備如下:首先將金屬或陶瓷基體表面作鏡面拋光處理, 然后通過在金屬或陶瓷的基體上采用雙靶射頻反應(yīng)濺射方法 交替沉積VN層和SiO2層,制取 VN/SiO2納米多層涂層,其中VN 采用V靶通過與N2反應(yīng)濺射得 到,而SiO2采用直接濺射 SiO2化合物靶材提供。本發(fā)明所 得的VN/SiO2納米多層涂層不但 具有優(yōu)良的高溫抗氧化性,而且具有高于30GPa的硬度。本發(fā) 明作為高速切削刀具及其它在高溫條件下服役耐磨工件的涂 層。 來源:馬 克 團(tuán) 隊 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海交通大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610029134.1 【申請日】2006-07-20 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1888125A 【公開公告日】2007-01-03 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】C23C14/06; C23C14/34; C23C14/54 【發(fā)明人】岳建嶺; 李戈揚(yáng); 趙文濟(jì); 戴嘉維 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種VN/SiO2納米多層涂層,其特征在于,由VN和SiO2形成在金屬或陶 瓷的基體上,VN層的厚度為2~10nm,SiO2層的厚度為0.3~1.2nm,納米多層涂層 的總厚度為2-6μm。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號 【統(tǒng)一社會信用代碼】1210000042500615X0 【引證次數(shù)】8.0 【被引證次數(shù)】14 【自引次數(shù)】2.0 【他引次數(shù)】6.0 【被他引次數(shù)】14.0 【家族引證次數(shù)】8.0 【家族被引證次數(shù)】14

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