【摘要】1.套件1后視圖與主視圖對(duì)稱(chēng)，省略套件1后視圖；套件2仰視圖 與俯視圖對(duì)稱(chēng)，省略套件2仰視圖；套件3后視圖與主視圖對(duì)稱(chēng)，套 件3仰視圖與俯視圖對(duì)稱(chēng)，省略套件3后視圖、仰視圖；套件4后視 圖與主視圖對(duì)稱(chēng)，套件4仰視圖與俯視圖對(duì)稱(chēng)，省略
【摘要】 一種半導(dǎo)體光刻技術(shù)領(lǐng)域的基于多傳感器數(shù)據(jù)融合的硅片預(yù)定位系統(tǒng)。本發(fā)明中，傳感器模塊將檢測(cè)到的硅片信息連接到信號(hào)調(diào)理模塊，信號(hào)調(diào)理模塊對(duì)硅片信息進(jìn)行調(diào)理，調(diào)理后的信號(hào)連接到數(shù)據(jù)采集模塊，數(shù)據(jù)采集模塊將信號(hào)調(diào)理模塊調(diào)理后的信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)，并將轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù)輸出到硅片形心缺口計(jì)算模塊，硅片形心缺口計(jì)算模塊對(duì)數(shù)據(jù)采集模塊轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，得到運(yùn)動(dòng)控制模塊的調(diào)整量，并將該調(diào)整量輸出到運(yùn)動(dòng)控制模塊，運(yùn)動(dòng)控制模塊根據(jù)硅片形心缺口計(jì)算模塊得到的調(diào)整量完成硅片定位的實(shí)際操作，限位控制模塊對(duì)運(yùn)動(dòng)控制模塊進(jìn)行限位診斷和故障排除，運(yùn)動(dòng)控制模塊將部分信號(hào)輸出到信號(hào)處理模塊進(jìn)行處理，為數(shù)據(jù)采集模塊提供外部時(shí)鐘信號(hào)。 【專(zhuān)利類(lèi)型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】上海交通大學(xué) 【申請(qǐng)人類(lèi)型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610148213.4 【申請(qǐng)日】2006-12-28 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN1988127A 【公開(kāi)公告日】2007-06-27 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100459095C 【授權(quán)公告日】2009-02-04 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】H01L21/68; G03F7/20; G03F9/00; H01L21/67 【發(fā)明人】曹其新; 黃春霞; 劉仁強(qiáng); 王美玲 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種基于多傳感器數(shù)據(jù)融合的硅片預(yù)定位系統(tǒng)，包括：傳感器模塊、信 號(hào)調(diào)理模塊、數(shù)據(jù)采集模塊、硅片形心缺口計(jì)算模塊、運(yùn)動(dòng)控制模塊、限位控制 模塊，其特征在于，傳感器模塊將檢測(cè)到的硅片信息連接到信號(hào)調(diào)理模塊，信號(hào) 調(diào)理模塊接收硅片信息后對(duì)其進(jìn)行調(diào)理，調(diào)理后的信號(hào)連接到數(shù)據(jù)采集模塊，數(shù) 據(jù)采集模塊將信號(hào)調(diào)理模塊調(diào)理后的信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)，并將轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù)輸出到 硅片形心缺口計(jì)算模塊，硅片形心缺口計(jì)算模塊對(duì)數(shù)據(jù)采集模塊轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)進(jìn)行 處理，得到運(yùn)動(dòng)控制模塊的調(diào)整量，并將該調(diào)整量輸出到運(yùn)動(dòng)控制模塊，運(yùn)動(dòng)控 制模塊根據(jù)硅片形心缺口計(jì)算模塊得到的調(diào)整量完成硅片定位的實(shí)際操作，限位 控制模塊對(duì)運(yùn)動(dòng)控制模塊進(jìn)行限位診斷和故障排除，運(yùn)動(dòng)控制模塊將部分信號(hào)輸 出到信號(hào)處理模塊進(jìn)行進(jìn)一步處理，為數(shù)據(jù)采集模塊提供外部時(shí)鐘信號(hào)。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1210000042500615X0 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】6 【他引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】6.0 【家族引證次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】6
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