【專利類型】外觀設計【申請人】上海臺項工藝制品有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201101上海市閔行區(qū)星風路518號【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人區(qū)縣】閔行區(qū)【申請?zhí)枴緾N200630040687.8【申請日】200
【摘要】 本實用新型涉及一種晶體硅硅片擴散爐，包括：石英管腔體，其兩端設置有載入、載出端開口，并具有氣幕簾和機械端蓋。石英管腔體載入端設置有驅動載入碳化硅槳葉的載入傳動機構。載入碳化硅槳葉上放置有裝載待擴散處理晶體硅片的石英舟。在石英管腔體內，載入碳化硅槳葉將石英舟放置在與之交錯設置的載出碳化硅槳葉上。載出碳化硅槳葉由石英管腔體載出端的載出傳動機構驅動。晶體硅片經擴散處理后，載出碳化硅槳葉從石英管腔體的另一端載出石英舟。從而構成一種雙向裝、卸晶體硅片的石英管式擴散爐，其硅片的載入和載出可同時、同方向完成，達到了結構簡單、提高效率，降低成本等有益效果。 【專利類型】實用新型 【申請人】上海太陽能科技有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201108上海市莘莊工業(yè)區(qū)申南路555號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620042768.6 【申請日】2006-06-13 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200964448Y 【公開公告日】2007-10-24 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200964448Y 【授權公告日】2007-10-24 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】C30B31/00 【發(fā)明人】袁曉; 李紅波; 吳庭谷 【主權項內容】1、一種晶體硅硅片擴散爐，包括：石英管腔體、氣幕簾和機械端蓋、 電阻式加熱外套、碳化硅槳葉、石英舟、氣體管道、擴散源和控制系統(tǒng)， 其特征在于：所述的石英管腔體兩端設置有載入和載出端開口，兩端開口 處分別設置有氣幕簾和機械端蓋；所述的碳化硅槳葉包括載入碳化硅槳葉 和載出碳化硅槳葉；載入碳化硅槳葉與載出碳化硅槳葉在石英管腔體中相 交錯，其中，載入碳化硅槳葉與石英管腔體載入端的載入傳動機構相連接 并受其驅動，載出碳化硅槳葉與石英管腔體載出端的載出傳動機構相連接 并受其驅動；所述載入傳動機構和載出傳動機構同控制系統(tǒng)相連接，由控 制系統(tǒng)控制載入和載出的時序。 關注公眾號馬 克 數(shù) 據 網 【當前權利人】上海太陽能科技有限公司 【當前專利權人地址】上海市莘莊工業(yè)區(qū)申南路555號 【專利權人類型】其他有限責任公司 【統(tǒng)一社會信用代碼】9131011263168762XU 【被引證次數(shù)】14 【被他引次數(shù)】14.0 【家族被引證次數(shù)】14
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