【摘要】本發(fā)明涉及六氟化硫氣體密度繼電器，尤其涉及無(wú)油抗振型的膨脹管式六氟化硫氣體密度繼電器用開關(guān)防震裝置。一種六氟化硫氣體密度繼電器用開關(guān)擺桿的防震裝置，包括頂桿、開關(guān)擺桿，膨脹管一端連接在固定座上，另一端連接在連接座上，頂桿安裝在連接座
【摘要】 本發(fā)明涉及的是一種用于切削工具技術(shù)領(lǐng)域的 TiN/AlON納米多層涂層反應(yīng)磁控濺射制備方法。分別采用直 流陰極控制的Ti靶和射頻陰極控制的 Al2O3靶，通過(guò)在Ar氣和N2氣的 混合氣氛中的反應(yīng)濺射分別獲得TiN和AlON沉積層，并通過(guò) 改變各靶的濺射功率和基片輪流在各靶前的停留時(shí)間獲得具 有成分周期變化的TiN/AlON納米多層涂層。本發(fā)明提供的 TiN/AlON納米多層涂層的反應(yīng)濺射制備技術(shù)具有很高的生產(chǎn) 效率，可以滿足具有高硬度和優(yōu)異抗氧化性能、適用于高速切 削和干式切削涂層的工業(yè)規(guī)?；a(chǎn)的需要。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】上海交通大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610116289.9 【申請(qǐng)日】2006-09-21 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1924084A 【公開公告日】2007-03-07 【公開公告年份】2007 【發(fā)明人】孔明; 李戈揚(yáng); 戴嘉維; 黃碧龍; 吳瑩 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種TiN/AlON納米多層涂層的高效率制備技術(shù)，其特征在于：分別采 用直流陰極控制的Ti靶和射頻陰極控制的Al2O3靶，通過(guò)在Ar氣和N2氣的混合 氣氛中的反應(yīng)濺射分別獲得TiN和AlON沉積層，并通過(guò)改變各靶的濺射功率和 基片輪流在各靶前的停留時(shí)間獲得具有成分周期變化的的TiN/AlON納米多層涂 層。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1210000042500615X0 【被引證次數(shù)】TRUE 【家族被引證次數(shù)】TRUE
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