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【摘要】 一種微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域的內(nèi)嵌鎳絲雙菱型結(jié)構(gòu)加 熱式驅(qū)動(dòng)SU－8基體微鉗。本發(fā)明包括：SU－8主體外框架、 內(nèi)層上菱形SU－8腔體、雙菱型鎳絲、內(nèi)層下菱形SU－8腔 體、SU－8主體與基底連接座。SU－8主體外框架由帶鋸齒狀 結(jié)構(gòu)的梯形右鉗體、右上柔性凹槽結(jié)構(gòu)、雙菱形外框、左上柔 性凹槽結(jié)構(gòu)、帶鋸齒狀結(jié)構(gòu)的梯形左鉗體、左下柔性凹槽結(jié)構(gòu)、 主體支撐座、右下柔性凹槽結(jié)構(gòu)依次按逆時(shí)針次序相連構(gòu)成； 雙菱型鎳絲由雙菱型鎳絲上卡座、上菱型鎳絲腔體、雙菱型鎳 絲上下連接體、下菱型鎳絲腔體、雙菱型鎳絲下卡座依次按逆 時(shí)針次序相連構(gòu)成。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)新穎、安全可靠、熱驅(qū)動(dòng) 以及操作方法簡單的優(yōu)點(diǎn)，具有冷卻后自動(dòng)復(fù)位的可重復(fù)操作 的功能。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】上海交通大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610116620.7 【申請(qǐng)日】2006-09-28 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1931529A 【公開公告日】2007-03-21 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100443266C 【授權(quán)公告日】2008-12-17 【授權(quán)公告年份】2008.0 【發(fā)明人】張衛(wèi)平; 張忠榕; 陳文元 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種內(nèi)嵌鎳絲雙菱型結(jié)構(gòu)加熱式驅(qū)動(dòng)SU-8基體微鉗，包括：SU-8主體 外框架(1)、內(nèi)層上菱形SU-8腔體(2)、雙菱型鎳絲(3)、內(nèi)層下菱形SU-8 腔體(4)、SU-8主體與基底連接座(5)，其特征在于： 所述SU-8主體外框架(1)由帶鋸齒狀結(jié)構(gòu)的梯形右鉗體(6)、右上柔性凹 槽結(jié)構(gòu)(7)、雙菱形外框(8)、左上柔性凹槽結(jié)構(gòu)(9)、帶鋸齒狀結(jié)構(gòu)的梯形左 鉗體(10)、左下柔性凹槽結(jié)構(gòu)(11)、主體支撐座(12)、右下柔性凹槽結(jié)構(gòu)(13) 依次按逆時(shí)針次序相連構(gòu)成，SU-8主體外框架(1)通過SU-8主體與基底連接 座(5)黏附在基底上，SU-8主體與基底連接座(5)通過主體支撐座(12)與SU-8 主體外框架(1)相連，內(nèi)層上菱形SU-8腔體(2)、內(nèi)層下菱形SU-8腔體(4)通過 雙菱型鎳絲(3)與SU-8主體外框架(1)相連； 所述雙菱型鎳絲(3)由雙菱型鎳絲上卡座(14)、上菱型鎳絲腔體(15)、雙菱 型鎳絲上下連接體(16)、下菱型鎳絲腔體(17)、雙菱型鎳絲下卡座(18)依次按逆 時(shí)針次序相連構(gòu)成，雙菱形鎳絲(3)通過雙菱型鎳絲上卡座(14)、雙菱型鎳絲下 卡座(18)內(nèi)嵌在SU-8主體外框架(1)的雙菱形外框(8)； 所述內(nèi)層上菱形SU-8腔體(2)包括：內(nèi)層上菱形SU-8腔體右卡槽(19)、內(nèi) 層上菱形SU-8主體結(jié)構(gòu)(20)，連接關(guān)系為：內(nèi)層上菱形SU-8腔體(2)通過內(nèi)層 上菱形SU-8腔體右卡槽(19)內(nèi)嵌在上菱形鎳絲腔體(15)； 所述內(nèi)層下菱形SU-8腔體(4)包括：內(nèi)層下菱形SU-8主體結(jié)構(gòu)(21)、內(nèi) 層下菱形SU-8腔體左卡槽(22)，連接關(guān)系為：內(nèi)層下菱形SU-8腔體(4)通過 內(nèi)層下菱形SU-8腔體左卡槽(22)內(nèi)嵌在下菱型鎳絲腔體(17)。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1210000042500615X0 【被引證次數(shù)】5 【被他引次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】5

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