【摘要】本實用新型涉及一種晶體硅硅片擴散爐,包括:石英管腔體,其兩端設(shè)置有載入、載出端開口,并具有氣幕簾和機械端蓋。石英管腔體載入端設(shè)置有驅(qū)動載入碳化硅槳葉的載入傳動機構(gòu)。載入碳化硅槳葉上放置有裝載待擴散處理晶體硅片的石英舟。在石英管腔體內(nèi)
【摘要】 請求保護色彩。 【專利類型】外觀設(shè)計 【申請人】衣戀時裝(上海)有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】200241上海市閔行區(qū)龍吳路5888號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630037130.9 【申請日】2006-06-05 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3632428D 【公開公告日】2007-04-18 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN3632428D 【授權(quán)公告日】2007-04-18 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】張惠貞 【主權(quán)項內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】衣戀時裝(上海)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)龍吳路5888號 【專利權(quán)人類型】外商投資企業(yè) 【統(tǒng)一社會信用代碼】9131000060729237XN
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