【摘要】本發(fā)明涉及的是一種MEMS微制造技術(shù)領(lǐng)域的 用于直線推進(jìn)的多弧結(jié)構(gòu)的改性SU8電熱微執(zhí)行器。由SU8 膠懸臂梁、與外部電路連接的左導(dǎo)電層、右導(dǎo)電層構(gòu)成,SU8 懸臂梁形狀為多弧狀結(jié)構(gòu),用于直線推進(jìn),為玻璃基底上制作 的懸臂梁結(jié)構(gòu),懸
【專利類型】外觀設(shè)計(jì) 【申請(qǐng)人】上海臺(tái)項(xiàng)工藝制品有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201101上海市閔行區(qū)星風(fēng)路518號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630040641.6 【申請(qǐng)日】2006-09-18 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN3682398D 【公開公告日】2007-08-22 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN3682398D 【授權(quán)公告日】2007-08-22 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】林汝聰 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無(wú) 【當(dāng)前權(quán)利人】上海臺(tái)項(xiàng)工藝制品有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)星風(fēng)路518號(hào) 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(自然人投資或控股)
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