【摘要】本發(fā)明提供了一種用于光學顯微鏡下的標記工具,包括滑動導軌、一對導向桿、油印頭及卡套,實現(xiàn)了快速、準確、方便地標記,避免了晶圓代工廠中對晶圓進行標記是人工操作的所帶來的諸多問題。來自:馬 克 團 隊【專利類型】發(fā)明申請【申請人】中芯國
【專利類型】外觀設(shè)計 【申請人】上海家化聯(lián)合股份有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】200082上海市保定路527號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】虹口區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630041522.2 【申請日】2006-10-13 【申請年份】2006 【公開公告號】CN300686348D 【公開公告日】2007-09-05 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN300686348D 【授權(quán)公告日】2007-09-05 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】徐軍; 王嬙 【主權(quán)項內(nèi)容】無 【當前權(quán)利人】上海家化聯(lián)合股份有限公司 【當前專利權(quán)人地址】上海市保定路527號 【專利權(quán)人類型】其他股份有限公司(上市) 【統(tǒng)一社會信用代碼】913100006073349399
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