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【摘要】本發(fā)明書提供了一種濕化學(xué)法制備錳鈷鎳 (MnCoNi)薄膜材料的新型方法，完全改變了傳統(tǒng)的制備工藝。 此方法可以在較低溫度下制備出大面積均勻、穩(wěn)定的MnCoNi 薄膜熱敏材料，并可以與硅工藝兼容，突破傳統(tǒng)陶瓷器件的局 限性，以滿足當(dāng)

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