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【摘要】本發(fā)明涉及一種微機(jī)械電容式加速度傳感器及 制作方法，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)領(lǐng)域。其特征在于，最為關(guān)鍵 的就是通過可動(dòng)質(zhì)量塊上下兩面的彈性梁交錯(cuò)分布，不重合， 呈90°交叉或平行分布的設(shè)計(jì)，利用各向異性腐蝕技術(shù)，在 (100)單晶硅片上實(shí)