【摘要】平面型產(chǎn)品，省略其他視圖?！緦＠愋汀客庥^設(shè)計【申請人】上海斯米克陶瓷有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201112上海市閔行區(qū)浦江鎮(zhèn)三魯公路2099號【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人區(qū)縣】閔行區(qū)【申請?zhí)枴緾N2
【摘要】 一種材料技術(shù)的超聲波降低電鍍銅薄膜內(nèi)應(yīng)力的方法。本發(fā)明首先配制電鍍?nèi)芤海瑢⑹⒂须婂內(nèi)芤旱碾婂儾鄯胖糜诔曉〔蹆?nèi)，控制電鍍?nèi)芤旱臏囟群碗娏髅芏?，通過改變電鍍時間得到相應(yīng)厚度的電鍍銅薄膜，其中：控制電鍍?nèi)芤旱臏囟仍?0－35攝氏度之間，電流密度在4－16A/dm2之間。本發(fā)明在不改變原有電鍍銅工藝的基礎(chǔ)上，將電鍍槽放置于超聲浴槽內(nèi)，利用超聲作用降低電鍍銅薄膜的內(nèi)應(yīng)力，利用X射線衍射的方法對不同工藝電鍍銅薄膜的內(nèi)應(yīng)力進行測量。結(jié)果顯示，利用超聲技術(shù)可以有效的降低電鍍銅薄膜的內(nèi)應(yīng)力。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海交通大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610118667.7 【申請日】2006-11-23 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1974870A 【公開公告日】2007-06-06 【公開公告年份】2007 【發(fā)明人】洪波; 姜傳海; 王新建; 董顯平; 王家敏 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種超聲波降低電鍍銅薄膜內(nèi)應(yīng)力的方法，其特征在于，首先配制電鍍 溶液，將盛有電鍍?nèi)芤旱碾婂儾鄯胖糜诔曉〔蹆?nèi)，控制電鍍?nèi)芤旱臏囟群碗娏?密度，通過改變電鍍時間得到相應(yīng)厚度的電鍍銅薄膜，其中：控制電鍍?nèi)芤旱臏?度在30-35攝氏度之間，電流密度在4-16A/dm2之間。 【當前權(quán)利人】上海交通大學 【當前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號 【統(tǒng)一社會信用代碼】1210000042500615X0 【被引證次數(shù)】TRUE 【家族被引證次數(shù)】TRUE
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